拉晶历程全程自动化
在惰性气体情形中，，，，，，，用石墨加热器将硅质料熔化，，，，，，，
用直拉法生长无位错单晶的装备。。。。。
性能优势
大直径设计结构：匹配大直径单晶硅棒生长所需空间。。。。。
可接纳一连加料装置。。。。。
接纳超低碳不锈钢质料，，，，，，，结构稳固。。。。。
| 8英寸硅部件级单晶炉 | |||
| 型号 | FT-CZ1200Si | ||
| 场合 | 周围温度 | 15 ~ 30℃ | |
| 周围湿度 | ≤65%（无结露，，，，，，，侵蚀气体） | ||
| 清洁度 | 一样平常情形水平 | ||
| 噪音 | ≤75db | ||
| 地基 | 3000kg/㎡以上 | ||
| 电源 | 额定电压 | 380VAC±10%, 3P, 50/60Hz | |
| 额定电容 | 320kVA | ||
| 额定流量 | 500A | ||
| 冷却水 | 流量规模 | 350~400L/min | |
| 供应压力 | 0.3~0.5MPa | ||
| 重量 | 装备高度 | ＜8250mm △ | |
| 装备重量 | 约10T | ||
△ 项数据视上炉筒高度而定，，，，，，，本装备数据不含磁场。。。。。
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