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拉晶历程全程自动化
在惰性气体情形中,,,,,,,用石墨加热器将硅质料熔化,,,,,,,
用直拉法生长无位错单晶的装备。。。。。。。
性能优势
装备主体结构优化,,,,,,,提高了整机稳固性。。。。。。。
具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功效。。。。。。。
接纳新型隔离阀。。。。。。。
液面高度监控系统。。。。。。。
高精度传念头构。。。。。。。
双层水冷套、可升降双层水冷屏。。。。。。。
如需获取6寸半导体级单晶炉详细数据,,,,,,,请向w66平台销售工程师咨询相同。。。。。。。

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